北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)技術(shù)好

5.5.6在回、排風(fēng)口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)檢漏裝置對(duì)高效過濾器掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏后安裝?；亍⑴棚L(fēng)口安裝后，對(duì)非零泄漏邊框密封結(jié)構(gòu)，應(yīng)再對(duì)其邊框掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏；當(dāng)無法對(duì)邊框掃描檢漏時(shí)，必須進(jìn)行生物學(xué)等專門評(píng)價(jià)。5.5.7當(dāng)在回、排風(fēng)口上安裝動(dòng)態(tài)氣流密封排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應(yīng)安裝于排風(fēng)裝置近旁目測(cè)高度處。排風(fēng)裝置中的高效過濾器應(yīng)在裝置外進(jìn)行掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏后再安入裝置。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進(jìn)行,并且有人員按照規(guī)范操作。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)技術(shù)好

1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)誠信推薦空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_放式或封閉式。

無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn)：使之無塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無塵車間工程行業(yè)來說，優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)客戶需求的理解和實(shí)現(xiàn)，以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無塵車間施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。隨著科技的迅猛發(fā)展，無塵室已成為現(xiàn)代工業(yè)、醫(yī)療、電子、航空航天等領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)境控制手段。

11.4.1生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管，應(yīng)同時(shí)安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺(tái)生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時(shí)，支管應(yīng)采用防回流裝置，并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風(fēng)管道之前，應(yīng)對(duì)高效過濾器安裝邊框及整個(gè)濾芯面掃描檢漏。當(dāng)為零泄漏排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)對(duì)濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關(guān)的手動(dòng)調(diào)節(jié)閥定風(fēng)量系統(tǒng)中，當(dāng)多臺(tái)安全柜排風(fēng)并聯(lián)時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)在安全柜安裝后應(yīng)重新平衡，采用壓力無關(guān)的風(fēng)量平衡閥時(shí)可不做此項(xiàng)平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應(yīng)進(jìn)行下列現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn).（潔凈室）等級(jí)大體可以分為十萬級(jí)、萬級(jí)、千級(jí)、百級(jí)、十級(jí)。數(shù)字越小，潔凈等級(jí)越高。微生物無塵室檢測(cè)頻率

物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)技術(shù)好

12.3.1防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時(shí)，其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護(hù)，其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護(hù)。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直，裝配成卷簾后，不應(yīng)存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的防煙裝置的材料應(yīng)為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應(yīng)均勻緊密貼合，其貼合面長度不應(yīng)小于導(dǎo)軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾，其兩側(cè)應(yīng)安裝由感煙、感溫火災(zāi)探測(cè)器組成的火災(zāi)探測(cè)器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應(yīng)是經(jīng)相關(guān)檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品。2防火門的開啟角度不應(yīng)小于90°，并應(yīng)具有在發(fā)生火災(zāi)時(shí)能迅速關(guān)閉的功能。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)技術(shù)好