16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定:在風系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時,除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關產(chǎn)品標準規(guī)定外,還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下,檢測室內(nèi)臭氧濃度。應按附錄E檢驗,結果應符合設計要求。當設計無明確要求時,應符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定:當對新風效果作細致確認時,可在風系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下,于每一班次結束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度,按附錄E檢驗,結果應符合設計要求。當設計無明確要求時,應符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10%的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時,可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測,結果應符合設計要求或雙方商定的標準。凡不符合單向流定義的氣流。上海噪音無塵室檢測認真負責
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。上海排風柜無塵室檢測認真負責無塵室創(chuàng)造了一個幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間,為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環(huán)境。
4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應根據(jù)下列要求的經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定:1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時,則應位于全年極小頻率風向下風側;3在廠區(qū)內(nèi)應布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。
無塵車間工程是指按照客戶的要求,提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標,使相關產(chǎn)品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產(chǎn)和操作,從而達到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率,改善和提升相關服務質(zhì)量的目標。無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。
10.1.1潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),應根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素,經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng),除應符合本規(guī)范外,還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB50030等的有關規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管,應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時,比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部,比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測報告
潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。上海噪音無塵室檢測認真負責
13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應在其表面安裝金屬網(wǎng),并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應在其表面安裝金屬網(wǎng),并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。上海噪音無塵室檢測認真負責