15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備、儀器,經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。上海醫(yī)療器具潔凈室檢測頻率
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設有上下技術夾層,上技術夾層內(nèi)設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層根據(jù)需要可為一層或二層。潔凈傳遞窗潔凈室檢測誠信推薦在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。
8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時,應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求,設置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應環(huán)形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,應符合下列要求:1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求;2埋地管道應耐腐蝕,并應具有承受相應地面荷載的能力;3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,應按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;4閥門及附件應采用與管材相同的材質(zhì)。
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數(shù)器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(shù)(一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。
5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區(qū))內(nèi),電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規(guī)定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求,并應方便操作和運送。應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。浙江無塵室3Q驗證潔凈室檢測
潔凈室是指空氣潔凈度達到規(guī)定級別的可供人活動的空間。上海醫(yī)療器具潔凈室檢測頻率
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標準差可高達1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合,上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時,掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值:當讀數(shù)大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時,就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應停留持續(xù)測量一段時間,光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。上海醫(yī)療器具潔凈室檢測頻率