Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低,還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖,進行再金屬化,因此Parylene不僅可用作防護材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用,經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片,其25um細直徑連接線,連接強度可提高5-10倍。Parylene能在,5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓Parylene的特性之一是它們可以形成極薄的膜層。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流擊穿電壓被確定與高聚物厚度有一定的關(guān)系。對于5個微米以下的薄膜,這方面的性能ParyleneC要強于ParyleneN。這些數(shù)據(jù)表明,兩種Parylene材料都具有很好的絕緣性能,即使厚度小于1個微米。隨著厚度的減小,單位厚度的擊穿電壓一般將升高。parylenecoating具有優(yōu)異的電絕緣性能,對鹽霧、霉菌、潮濕、腐蝕性等惡劣環(huán)境有很好的隔離防護功能,也有很好的物理機械性能,是一種堅韌、透明、有自潤滑性和良好的均勻性的高分子涂敷材料。派瑞林英文名稱為Parylene, 派瑞林,帕利靈PARYLENE同時具有很好的機械性能和耐輻射性能且具有防潮功能。廣西帕利靈工藝
2、微電子集成電路聚對二甲苯的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且,所制備的聚對二甲苯涂層介電常數(shù)也低,還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖、進行再金屬化,因此,在集成電路微電子領(lǐng)域中不僅可用作防護材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和制作時的掩模材料使用。經(jīng)聚對二甲苯涂敷過的集成電路芯片,其25μm細直徑金連接線,連接強度可提高5一10倍。近十年來,國外在多層集成電路和超大規(guī)摸集成電路(ULIC)中不斷報道在使用該材料,而月還開發(fā)了—十中耐溫更高、介電常數(shù)更低的氟代聚對二甲苯為其配套,另外,由于聚對二甲苯低溫性能特別好,IBM公司還用聚對二甲苯開發(fā)了一種能在液氮下工作的集成電路。3、微電子機械系統(tǒng)(MEMS)MEMS作為超小型電子機械,要求使用的材料必須具有如下特性:(a)能進行微米級微細制作和加工;(b)在微細結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機械性能;(c)與其它微細結(jié)構(gòu)材料有很好的兼容性;(d)對微電子機械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的兼容性和防護性。聚對二甲苯能在μm厚時就完全沒有縫隙,5μm時就能耐l000V以上直流擊穿電壓,又是摩擦系數(shù)很低的—種自潤滑材料:化學惰性和阻隔性能也好。因此,在微電子機械系統(tǒng)中。 廣西帕利靈工藝經(jīng)派瑞林,帕利靈保護的文物,防水、防腐蝕性能優(yōu)異,文物的壽命可延長千年以上;
替代性器件——如復原性人造器件,用parylene,派瑞林,帕利靈保護可消除與顯微輸送有關(guān)的問題,并能防止生物液體的腐蝕。超聲波換能器——用于觀測血管內(nèi)壁的微型傳感器,用parylene,派瑞林,帕利靈后,可防止腐蝕和擊穿。骨質(zhì)生長器——用parylene,派瑞林,帕利靈后可使此器件與生物液體隔離。人體細胞易與parylene,派瑞林,帕利靈表面增長形成同結(jié)構(gòu)的薄層組織。腦部探針——用parylene,派瑞林,帕利靈可使腦部探針表面潤滑,并可使其進行選擇性絕緣。導尿管——用parylene,派瑞林,帕利靈保護可提供良好的潤滑性并防止生物液的腐蝕?!猵arylene,派瑞林,帕利靈保護不受腐蝕,且可潤滑無需降低尺寸限制。針頭——parylene,派瑞林,帕利靈可封住金屬的顯微疏松,形成光滑無氣孔的表面,減少附著物污的可能。套管——用于剖腹手術(shù)的精密器械,如有導電金屬軸的灼燒套管,
Parylene派瑞林,帕利靈是對二甲苯化合物的環(huán)形二聚體,也是直鏈型聚對二甲苯的單體;是獨特的對二甲苯材料系列的統(tǒng)稱,具有完全線性、高度結(jié)晶的聚合物,在四十年代后期由英國曼徹斯特大學研究高分子的一位化學家分離出,后來Union Carbide公司的科學家威廉戈罕開發(fā)了一種沉積方法來應用該產(chǎn)品成膜,派瑞林,帕利靈及其成膜技術(shù)較早應用于美國的和航天領(lǐng)域,到九十年代末才慢慢民用化,目前,從普通領(lǐng)域到不為人知的領(lǐng)域,派瑞林,帕利靈都有應用,其所涵蓋的應用市場從太空深處的飛行器、汽車發(fā)動機一直到心臟調(diào)搏器、電子產(chǎn)品等??梢灶A見,得益于自動化沉積設(shè)備的出現(xiàn),不同技術(shù)領(lǐng)域?qū)@種聚合物的日益熟悉,以及涂敷效率的不斷改進等等,派瑞林,帕利靈的應用廣度將進一步得到拓寬。派瑞林,帕利靈采用化學氣相沉積工藝,整個過程是氣態(tài)反應,且全程在真空條件下進行,因而涂層非常的均勻 。
Parylene適用于微電子(MEMS)、半導體領(lǐng)域之優(yōu)點☆能進行微米級微細制作和加工;☆與其它微細結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性;☆在微細結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機械性能;☆對微電子機械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護性。Parylene適用于微電子(MEMS)、半導體在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。Parylene是一種具有優(yōu)異性能的敷形涂層材料,問世后首先在電子領(lǐng)域得到了應用。1972年列入美軍標46058C允許作為印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為。Parylene氣相沉積涂敷工藝,有很強的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑,即使在微米厚也沒有孔,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜。帕利靈F通過薄膜發(fā)揮出色的防潮性能,是室外設(shè)置LED照明、燈飾、移動式顯示器等的輕量化的較佳選擇。蘇州親水帕利靈代工
目前小型超小型磁材,幾乎都采用派瑞林,帕利靈Parylene作絕緣和防護涂層。廣西帕利靈工藝
派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,parylene粉材的生產(chǎn)規(guī)模、產(chǎn)品質(zhì)量、技術(shù)能力都居于較高水平,**著派瑞林粉材行業(yè)的發(fā)展。經(jīng)過近多年的研發(fā)、生產(chǎn)與不斷改進,成功生產(chǎn)出高純的派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,paryleneN粉、不同規(guī)格要求的派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,paryleneC粉、派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,paryleneD粉、派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,paryleneF粉,并派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,parylene系列新品開發(fā)上形成了一整套完善的理論模式和實踐經(jīng)驗,產(chǎn)品質(zhì)量與國際完全相同,價格卻遠低于國際同等水平,為國內(nèi)派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,parylene涂敷企業(yè)降低成本、增加市場競爭力起到了有效的推動作用。派瑞林,帕利靈,派瑞林真空鍍膜,parylene產(chǎn)品和技術(shù)已廣泛應用于微電子,混合電路板LED模塊。各種傳感器、換能器、磁性材料、醫(yī)用介入支架、古籍善本、檔案、文物保護等各個領(lǐng)域。我們將始終秉持“已質(zhì)量為中心,客戶至上,開拓創(chuàng)新求發(fā)展”的運營方針,通過持續(xù)不斷改進,始終掌握精密的技術(shù),精湛的生產(chǎn)制造工藝和產(chǎn)品質(zhì)量控制,用我們的專業(yè)化服務幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。 廣西帕利靈工藝
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