晶圓片隔振臺(tái)技術(shù)支持

主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理主動(dòng)防振臺(tái)通過(guò)電氣控制，向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力，從而消除振動(dòng)。測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動(dòng)式防震臺(tái)專門(mén)研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實(shí)際測(cè)量的振動(dòng)結(jié)果：AVI主動(dòng)隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。（2）不同負(fù)載下的振動(dòng)傳遞率：AVI的隔振性能在負(fù)載低于30Hz以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負(fù)載增加，隔震效果稍有提升。TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。晶圓片隔振臺(tái)技術(shù)支持

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,2Hz，超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)，避免了任何復(fù)雜的過(guò)程。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-800公斤（單件）：400公斤安徽晶圓隔振臺(tái)TableStable通過(guò)主動(dòng)控制沒(méi)有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的振動(dòng)。

   傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬，以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。運(yùn)作方式設(shè)置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開(kāi)電源。綠色LED將點(diǎn)亮。紅色LED開(kāi)始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在，您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。如果它們點(diǎn)亮，則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。請(qǐng)注意，如果未啟用LFS，則它將無(wú)效。敏感的傳感器單元，請(qǐng)勿撞擊，敲打或跌落！

把手輕輕地放在桌面上。可能會(huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系統(tǒng)開(kāi)始隔離。一些過(guò)載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴(yán)重過(guò)載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。TS-140隔振臺(tái)結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且對(duì)用戶友好的設(shè)計(jì)。

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz，超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單個(gè)）：600公斤傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。安徽晶圓隔振臺(tái)

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。晶圓片隔振臺(tái)技術(shù)支持

使用AVI系統(tǒng)時(shí)，系統(tǒng)只能插入單獨(dú)接地的插座。無(wú)論是在插座處，還是使用未接地的延長(zhǎng)電纜，都不要斷開(kāi)此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請(qǐng)拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開(kāi)此設(shè)備之前，請(qǐng)確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入通風(fēng)槽。在取下任何蓋子之前，斷開(kāi)電源。請(qǐng)向合格人員咨詢服務(wù)。不要在可能報(bào)炸的環(huán)境中使用。保險(xiǎn)絲位于控制單元后側(cè)的電源插座中。未先拔下電源線，不要試圖更換保險(xiǎn)絲。只能更換類型正確的保險(xiǎn)絲。不要試圖繞過(guò)保險(xiǎn)絲。確保控制單元中的通風(fēng)縫沒(méi)有被覆蓋，并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導(dǎo)致過(guò)熱，從而引發(fā)火災(zāi)。對(duì)于控制單元和隔離元件之間的連接，瑾使用提供的D-Sub 15電纜（m/f）。晶圓片隔振臺(tái)技術(shù)支持