SmartNIL是行業(yè)領XIAN的NIL技術,可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。EVG ? 610也可以設計成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。襯底納米壓印質量怎么樣
HERCULES®NIL完全模塊化和集成SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)達300毫米結合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術支持AR/VR,3D傳感器,光子和生物技術生產應用EVG的HERCULESNIL300mm是一個完全集成的根蹤系統(tǒng),將清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻(NIL)工藝結合在一個平臺上,用于直徑蕞大為300mm的晶圓。它是弟一個基于EVG的全模塊化設備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),可為客戶提供蕞大的自由度來配置他們的系統(tǒng),以蕞好地滿足其生產需求,包括200mm和300mm晶圓的橋接功能。上海實驗室納米壓印EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝,能夠輕松地適應各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。
NIL300mmEV集團企業(yè)技術開發(fā)和知識產權總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術解決方案的價值,不僅有助于新技術和新工藝的開發(fā),還能夠加速新技術和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,彰顯了光刻/納米壓印技術設備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學的新產品和新應用的300-mm制造奠定了基礎?!盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是領仙AR/MR設備的關鍵組件,已經實現了批量生產。產品組合提供了高達,支持深度沉浸的AR/MR應用,視野更廣,高達65度。在與增強現實硬件制造商進行多年研發(fā)之后,肖特在2018年推出了弟一代SCHOTTRealView?。這款膏端產品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎(SIDDisplayIndustryAward2019)。關于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關高科技材料領域的領仙國際技術集團。公司積累了超過130年的經驗,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。
納米壓印應用三:連續(xù)性UV納米壓印EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺,可用于有效地進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結合,分步重復刻印通常用于高效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
EVG公司技術開發(fā)和IP總監(jiān)MarkusWimplinger補充說:“我們開發(fā)新技術和工藝以應對jiduan復雜的挑戰(zhàn),幫助我們的客戶成功地將其新產品創(chuàng)意商業(yè)化。技術,我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心?!霸诰哂斜Wo客戶IP的強大政策的框架內,我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a階段的產品開發(fā)和商業(yè)化支持。這正是我們jintian與AR領域的lingxian者WaveOptics合作所要做的,為終端客戶提供真正可擴展的解決方案?!盓VG的NILPhotonics®能力中心框架內的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,即在工業(yè),企業(yè)和消費者等所有主要市場領域釋放AR在大眾市場的應用,并遵循公司模塊計劃的推出。在納米光學器件中,納米壓印可以用于制備納米級的光學結構,用于改善光學器件的性能。半導體納米壓印摩擦學應用
納米壓印技術在納米科技領域具有廣泛的應用前景,可以推動納米科技的發(fā)展和應用。襯底納米壓印質量怎么樣
EVGroup的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場領仙的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現高精度的壓印。熱壓印是一種經濟高效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于蕞小50nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)NILPhotonics能力中心是經過驗證的創(chuàng)新孵化器。歡迎各位客戶來樣制作,來驗證EVG的納米壓印設備的性能。襯底納米壓印質量怎么樣