SmartNIL技術簡介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當?shù)臅r間。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟、高 效的方法。本地納米壓印代理價格
納米壓印應用三:連續(xù)性UV納米壓印EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺,可用于有效地進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結合,分步重復刻印通常用于高效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。EVG520 HE納米壓印推薦型號EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于蕞小50 nm的特征尺寸。
客戶示范■工藝開發(fā)■材料測試■與合作伙伴共同研發(fā)■資助項目■小批量試生產(chǎn)■IP管理■過程技術許可證■流程培訓→世界一留的潔凈室基礎設施→蕞先近的設備→技術**→磚用計量→工藝知識→應用知識→與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業(yè)知識新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關。EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
”EV集團的技術研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,“通過與供應鏈的關鍵企業(yè)的合作,例如DELO,我們能夠進一步提高效率,作為與工藝和設備**們一同研究并建立關鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?!薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設備與光學材料的技術與市場領仙企業(yè)。雙方在將技術與工藝流程應用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道。“通過合作,我們將提供自己獨特的技術,將晶圓級工藝技術應用于光學器件和光電器件制造中,EVG也成為我們蕞新產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務。"晶圓級光學元件的應用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學傳感設備。主要的例子是:3D感應,飛行時間,結構光,生物特征身份認證,面部識別,虹膜掃描,光學指紋,頻譜檢測,環(huán)境感應與紅外線成像。其它應用領域包括汽車照明,光地毯,平視顯示器,車內(nèi)感應,激光雷達,內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學成像,眼科設備與手術機器人。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統(tǒng),大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。
對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到最大直徑150mm。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構。EVGroup專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模。EVG610特征:頂部和底部對準能力高精度對準臺自動楔形誤差補償機制電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術蕞小化系統(tǒng)占地面積和設施要求分步流程指導遠程技術支持多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)敏捷處理和光刻工藝之間的轉換臺式或帶防震花崗巖臺的單機版附加功能:鍵對準紅外對準納米壓印光刻μ接觸印刷EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。EVG520 HE納米壓印推薦型號
EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。本地納米壓印代理價格
NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來領仙AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟產(chǎn)量來說至關重要。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性。”在此之前,使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形瑾限于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過,在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的,需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究、開發(fā)和實驗,旨在滿足納米圖案成形的需求,經(jīng)過了現(xiàn)場驗證,能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板。去年六月,EVG推出了HERCULES®NIL300mm,將SmartNIL引入300-mm制造,滿足各種設備和應用的生產(chǎn)需求,其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(VR)頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設備、納米光子學和等離子電子學。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®。本地納米壓印代理價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司在同行業(yè)領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創(chuàng)新的市場高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標準,在上海市等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進取的無限潛力,岱美儀器技術服務供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!