對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到最大直徑150mm。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構(gòu)。EVGroup專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模。EVG610特征:頂部和底部對準(zhǔn)能力高精度對準(zhǔn)臺自動楔形誤差補償機制電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導(dǎo)遠(yuǎn)程技術(shù)支持多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換臺式或帶防震花崗巖臺的單機版附加功能:鍵對準(zhǔn)紅外對準(zhǔn)納米壓印光刻μ接觸印刷HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)。中科院納米壓印國內(nèi)代理
曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應(yīng)用,例如仿生學(xué)、柔性電子學(xué)和光學(xué)器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu)。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,實現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復(fù)制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制?;谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復(fù)合軟壓印模板的制備方法,該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。(來自網(wǎng)絡(luò),侵權(quán)請聯(lián)系我們進行刪除,謝謝?。┞?lián)電納米壓印值得買SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調(diào)整,使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設(shè)備與點膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設(shè)有子公司。2019財政年,公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)(NIL)與計量設(shè)備,,以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng)。EV集團創(chuàng)辦于1980年,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持。
SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)仙的NIL技術(shù),可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,可實現(xiàn)無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,大批量替代光刻技術(shù)。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細(xì)的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),可進行有效的母版制作。
SmartNIL技術(shù)簡介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,因此還可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步。EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)。江蘇半導(dǎo)體設(shè)備納米壓印
步進重復(fù)納米壓印光刻可以從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。中科院納米壓印國內(nèi)代理
它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā)、原型設(shè)計和制造提供了一種獨特的方法,可以方便地接觸蕞新研發(fā)技術(shù)與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn),先進的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用。開發(fā)先進的光學(xué)材料,需要充分地研究化學(xué)、機械與光學(xué)特性,以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)(HVM)的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識,才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中,以蕞小的形狀因子達(dá)到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,促成了工藝流程的研發(fā)與改善,確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,并增強雙方的專業(yè)技能,從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù),并將加快新產(chǎn)品設(shè)計與原型制造的速度,為雙方的客戶保駕護航?!癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是:它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求,同時保障比較高的保密性。中科院納米壓印國內(nèi)代理
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。岱美中國是一家其他有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽,持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團隊,具有半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等多項業(yè)務(wù)。岱美中國將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!