如果水環(huán)真空泵以葉輪的上部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡�。水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。水環(huán)真空泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵、機(jī)械，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵、礦山，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中，把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待�！芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡單地說，對于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據(jù)我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。

真空泵達(dá)到一定臨界壓力時(shí)，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機(jī)組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級高真空機(jī)組進(jìn)入較高的真空度時(shí)，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時(shí)只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性，在實(shí)際運(yùn)用中這是經(jīng)常采用的方法，這樣可減少機(jī)組的能耗。

由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。

對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定，把它與泵的技術(shù)參數(shù)"進(jìn)氣口允許較大阻力"Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據(jù)經(jīng)驗(yàn)采用簡便的方法確定，比如下述幾種情況都屬于負(fù)載較大(即泵的抽氣端阻力較大)，只能在微型真空泵范圍內(nèi)選型：在泵的抽氣端要接很長的管道，或管道彎曲點(diǎn)多、彎曲厲害甚至?xí)�阻塞封閉，或管道內(nèi)孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有節(jié)流閥、電磁閥、氣路開關(guān)、過濾器等元件；泵抽氣口與密閉容器連接，或該容器雖未密閉但進(jìn)氣量較�。槐贸闅饪谂c吸盤連接，用于吸附物體(如集成塊、精密工件等)；⑤泵的抽氣端與過濾容器相連，容器口放置濾網(wǎng)，用于加速液體過濾。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機(jī)溶劑，需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器，起到一個(gè)過濾的作用。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵