歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵，上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡�。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，極限壓力為3300~5000Pa之間。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵真空泵在工作第1個(gè)月內(nèi)，經(jīng)100小時(shí)更換潤滑油，以后每個(gè)500小時(shí)，換油一次。

由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。

抽氣量是真空泵抽速的一個(gè)衡量因素。一般單位用L/S和m/h來表示。是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解，理論下抽一個(gè)相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 因?yàn)楣苈坊蛘呷萜魇冀K不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補(bǔ)了漏氣所帶來的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計(jì)算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。

當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

真空泵達(dá)到一定臨界壓力時(shí)，往往抽速會減小。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

環(huán)境對真空泵的影響，主要是指被抽氣體對體系的污染，在鋼液處置過程中，鋼液會放出很多的氣體，同時(shí)也會有一部分細(xì)微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵，這些小顆粒會堆積粘附在泵體上，減小了抽氣管路流導(dǎo)，延長了抽氣時(shí)間，下降了泵的抽氣功能。泵體布局的影響：關(guān)于單級真空泵，簡單磨損的部位是蒸汽的噴嘴，噴嘴被磨損后，不只會影響泵的功能，還會增加體系的運(yùn)轉(zhuǎn)本錢。所以真空泵在使用時(shí)要非常注意周圍環(huán)境和蒸汽噴嘴的影響。上海實(shí)驗(yàn)室隔膜真空泵

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