羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有較強的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，上海電動真空泵，上海電動真空泵，上海電動真空泵，所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預(yù)抽負擔。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭。上海電動真空泵
真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然，真空泵的選型是一個綜合過程，涉及到相關(guān)經(jīng)驗等因素。上海干式螺桿真空泵微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。
在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個基礎(chǔ)概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài)。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。實際應(yīng)用中，真空度，通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強，業(yè)界也稱為極限相對壓強，即： 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強3300Pa；旋片式真空泵極限壓強約10Pa)。
歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥關(guān)閉。
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉(zhuǎn)時，由于離心力的作用，形成了一個決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。上海干式螺桿真空泵
水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。上海電動真空泵
便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運動，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續(xù)24小時運轉(zhuǎn)等優(yōu)點，上海電動真空泵
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