高純氬氣廣泛的用途：氬氣主要應(yīng)用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。
高純氬氣是一種無色、無味的（稀有）惰性氣體，分子量39.938，分子式為Ar，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，其密度為1.784kg/m3，沸點為-185.7℃。
防止高純氬氣泄漏到工作場所空氣中。高純氬氣在搬運(yùn)時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。當(dāng)其含量增加導(dǎo)致氧氣含量低于19.5%時有可能引起窒息。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗，方能繼續(xù)使用。每瓶氣體在使用到尾氣時，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa，不得低于0.25MPa余壓，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。瓶裝高純氬氣和嚴(yán)禁可燃?xì)怏w與助燃?xì)怏w堆放在一起，不準(zhǔn)靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊。
高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。
